
電子廠凈化車間設計特點及對環境的要求
發布時間:2017-03-30 瀏覽次數:6622
2017年環球資源香港移動電子展將于4月18日至21日在香港亞洲國際博覽館舉辦。作為亞洲規模很大的電子產品展覽盛會,本次電子展不僅向廣大用戶展示眾多未來創新的科技產品,同時也為眾多買家提供了深入了解我國科技產品的機會,此次香港電子展也是國內外科技廠家和媒體備受矚目的展會。眾所周知,電子產品的生產環境要求非常嚴格,電子廠凈化車間為電子產品滿足質量要求提供了強有力的保障。
基于微電子和光電子加工工藝的精密化,微細化和規模化,就決定了其對生產環境的的要求就越來越高。電子廠凈化車間對環境的要求可用凈、精、純、嚴四個字來形容。
凈:電子廠凈化車間,尤其是微電子前工序和光電子前工序的凈化車間對環境潔凈度的要求越來越凈。例如,12吋園片超大規模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0.1µm)也就是每立方英尺空氣中≥0.1 µm的粒子數不能超過1顆。相當于ISO 1級。特別重要的是它對環境空氣提出了去除分子污染(SO2 , Nox , VOC ,NH3等)的要求。
精:電子廠凈化車間生產工藝對環境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。還以上述微電子的光刻間為例:其溫度精度為±0.1℃,相對濕度的精度為±3%。
純:大規模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。例如:對高純水而言,不僅對其電阻率有要求,而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求,隨著電子廠凈化車間的發展,對其純度的要求也越來越高。可謂純之又純。
嚴:電子廠凈化車間不僅對環境的潔凈度,溫、濕度有嚴格的要求,同時對環境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產,對環境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環境空氣中要嚴格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導體工藝有害的元素。因此電子廠凈化車間在處理空氣時,還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份,和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

隨著人們生活水平的提高,科技的不斷進步,人們對生存環境及各行業的產品質量要求越來越高,凈化車間也隨著高新技術產業的發展而不斷進行著技術的完善。應用領域的日益擴大,也使用國內凈化產業不斷壯大。
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