文章摘要:隨著空氣凈化工程設計的發展,高效空氣過濾器無論是過濾材料、結構形式、密封材料、外框材質以及檢測方法變化發展很快,尤其是集成電路生產的日新月異,要求生產環境達到控制微粒直徑為0.05-0.1m,空氣潔凈度等級要求1級甚至更為嚴格,并且還要控制生產環境中的分子級化學污染物、重金屬污染物等。
隨著
空氣凈化工程設計的發展,高效空氣過濾器無論是過濾材料、結構形式、密封材料、外框材質以及檢測方法變化發展很快,尤其是集成電路生產的日新月異,要求生產環境達到控制微粒直徑為0.05-0.1m,空氣潔凈度等級要求1級甚至更為嚴格,并且還要控制生產環境中的分子級化學污染物、重金屬污染物等。為了滿足各種工業產品微細化、高精密度的要求,除了從
空氣凈化工程設計的布置、圍護和室內裝飾以及凈化空調系統的形式、氣流流型等方面采用可靠的技術措施外,關鍵技術措施之一便是選用符合要求的高效空氣過濾器(HEPA)、超高效空氣過濾器(ULPA),在這方面國內外的科研、設計和制造廠家都做了大量研究開發工作,取得了許多可用的成果,但是國產高效過濾器的產品與國際先進產品相比仍有較大差距,尤其是用于比5級(100級)和要求更嚴格的空氣凈化工程高效過濾器、超高效過濾器的質量、檢測方法等方面存在著較大差距。
我國的國家標準GB 13354-92 《高效空氣過濾器》中規定,高效過濾器是采用鈉焰法檢測,其效率達到99.9%以上的過濾器;或對粒徑>0.1um的微粒采用粒子計數測定法,其效率達到99.999%以上的過濾器。