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　　潔凈車間要確定設計方案，必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮，發塵量大的車間一般不采用地面送風形式，潔凈度要求高的車憚應盡可能遠離其它車間。所以空氣循環設計要考慮房間的工作性質、以及生產工要求，再決定凈化系統的技術參數。

　　潔凈車間工程中空氣循環特點可以分為三種設計類型：

　　第一種循環空調機配合高效送風口系統形式在小規模低等級要求的潔凈車間裝修工程設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間工程則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

　　第二種循環風機配合濕式密封系統形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈車間工程大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室工程的風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

　　第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的設計方案。

　　參照設計慣例和房間工作參數進行選擇氣流形式。為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行前期的縝密設計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。房間里必須保持正壓，防止外面污染氣流進入室內，為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當的新鮮空氣。根據所要運行的車間，提供必須的給排水設備，送風設備和電源，這些設備和所涉及的區域必須易于使用和設計， 不得有礙于空氣凈化系統。潔凈車間頂棚，墻面和地板的材料選擇上必須是不宜破裂，不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據房間不同的工作條件，還要考慮材料的化學業性能是否穩定。必要時還得安置一些輔助設備，如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等，這些設備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能。人員和貨物是無塵室的主要塵埃來源，因此潔凈車間的循環系統對于人和貨物的污染控制也要做出措施。

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