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　　凈化車間是產品的生產基地，車間內環境的好壞，直接影響著產品的品質。隨著生產技術高科技的提升，凈化車間環境的溫濕度控制也非常重要，適宜的生產環境才能創造出與時代相適應的工業產品。濕度的控制是凈化車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是凈化車間運作過程中一個常用的環境控制條件。

　　近年，在這些規定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使凈化車間總體表現下降的因素，其中包括：細菌生長;工作人員感到室溫舒適的范圍;出現靜電荷;金屬腐蝕;水汽冷凝;光刻的退化;吸水性。

　　細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

　　高濕度實際上減小了凈化車間表面的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。

　　相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體凈化車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。到目前為止，在半導體凈化車間中最迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是最嚴格的水準。

　　很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車間周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。潔凈車間的濕度控制由其生產工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。