
電子廠凈化車間比較容易忽略的污染源
發布時間:2017-03-24 瀏覽次數:5677
在今天舉行的2017年中國半導體市場年會暨第六屆集成電路產業創新大會-應用創新論壇上,中興微電子無線終端產品市場總監表示,中興微電子開始實施“M戰略”,從人際通信轉型人與機器、機器與機器的通信,瞄準工業物聯網、萬物互聯,聚焦5G、Volte和NB-IoT芯片。今年主推的芯片NB-IoT、芯片Rose Finch7100,預計將在9月份進行芯片和模塊的同步發售,5G芯片預計將于2019年進入測試。隨著我國高新科技領域的發展,對電子廠凈化車間的需求越來越大,同時對其要求也越來越高。
隨著大規模電子制造業利用各樣的設備和工藝技術。各專業技術人員雖然對自己分工的工藝技術精益求精,但對其它工藝生產情況有時不一定了解,往往不注意設備和工藝生產給電子廠凈化車間內的環境帶來的不良影響。
電子廠凈化車間比較容易忽略的污染源:
(1)電磁噪聲
通過電子廠凈化車間大電流的氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開關,高頻振蕩等產生的電磁噪聲,影響電子束掃描設備的掃描精度。其影響程度與發生源的距離成反比。
(2)振動
電子廠凈化車間設備內的真空泵電機工作時會把振動經地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上,影響它們的工作精度。應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣彈簧減震器,以達到衰減振動的目的。
(3)生銹
電子廠凈化車間酸用通風罩局部排風量不足時,酸霧氣擴散于車間內,腐蝕車間內設備的金屬部分,就是不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中,也會受腐蝕生銹。處理酸的最有效的方法是采用密閉通風罩,保證電子廠凈化車間有足夠的局部排風量。
除上述人們熟知的原因之外,還有器材和設備的搬出和大修施工時的污染問題。這些污染不只是由于人的移動造成的,設備移動也會揚起已落在地板表面和器材上的塵埃。特別是更換設備時養護地板,搬進小工具或很多搬運工進出電子廠凈化車間,這些情況會導致電子廠凈化車間內的懸浮塵埃量比平時大一百倍以上。
對電子廠凈化車間局部改造的施工中,通常人在地板下鋪設管道或者坐在地板上進行作業。這種施工有時切割管道,于是聚氯乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚出來。所以大修時盡管周圍掛上檔布以養護,但由于施工人員進進出出,受污染的不僅僅是局部范圍,而且全車間都受嚴重污染。

在電子廠凈化車間內,只用有人在操作,有設備在運行,就會發塵。這些塵埃并非隨著循環氣流為高效過濾器所捕集,一部分塵??傄e落在地板、墻壁、設備表面上。應隨時清除這些積塵,以保持電子廠凈化車間的清潔。
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