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　　凈化工程內生產制造設備的選擇、布置與保養：

　　a、凈化工程要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。

　　b、凈化工程應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。

　　c、凈化工程生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。

　　d、規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。

　　e、真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。

　　f、設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

　　g、生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。

　　h、應加強注意凈化工程室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。

　　i、當凈化工程設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。

　　j、對于施工或維修之廠商，應告知進出凈化車間之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。

　　k、應有凈化工程專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。

　　l、規劃空間時若能臨近凈化車間設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。